Home page

XRD ¿¡ ÀÇÇÑ ½Ã·áÃøÁ¤

1) XRD ½Ã·áÀÇ Á¦ÀÛ

(1) ½Ã·áÀÇ ÀÔ°æÁ¶Á¤

ºÐ¸»¹ý X¼±È¸ÀýÀº ½Ã·á°¡ ¹Ì¼¼°áÁ¤ À̹ǷΠ½Ã·á Holder¿¡ ³Ö´Â ¹æÇâ¿¡ °ü°è¾øÀÌ ¹«¹èÇ⼺(random orientation)À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù´Â ÀüÁ¦¸¦ µÎ°íÀÖ´Ù.
ºÐü°¡ µÇ´Â ½Ã·á´Â ¸¶³ë»ç¹ß µîÀ¸·Î °ö°Ô °¥¾Æ¼­ ÃøÁ¤ ÇÑ´Ù.
Á¤¼ººÐ¼®¿¡¼­´Â ÀÔ°æÀÌ 44mm (350 Mesh)ÀÌÇÏ, Á¤·®ºÐ¼®¿¡¼­´Â 10mm Á¤µµ±îÁö °ö°Ô ¸¸µé ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.
½Ã·á¸¦ ¼Õ°¡¶ô »çÀÌ¿¡¼­ ÀÔÀÚÀÇ ´À³¦À» ´À³¢Áö ¸øÇÒ Á¤µµ·Î ¸¸µç´Ù.

(2) ½Ã·áÀÇ ÀÔ°æ°ú ȸÀýX¼± °­µµ ÀçÇö¼º

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ¼®¿µ(a-SiO2)ÀÇ ÀÔ°æÀÌ Å©°ÔµÇ¸é ȸÀý¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °áÁ¤ÀÇ ¼ö°¡ °¨¼ÒÇÏ¿© Debye-Ring ÀÌ ¹ÝÁ¡ÇüÅ·ΠµÇ°í, Á¡Á¡ Ä¿Áö°Ô µÇ¸é ¸íÈ®ÇÑ Ring ÀÌ ¾ø¾îÁö´Â °ÍÀ» ³ªÅ¸³½´Ù.

°áÁ¤ÀÔ°æ¿¡ ´ëÇÑ Debye-ring ÀÇ º¯È­

°áÁ¤ÀÔ°æ¿¡ ´ëÇÑ Debye-ring ÀÇ º¯È­
(H. P. Rooksby. Cantor Lectures. Royal Society of Arts.)

Wide Angle Goniometer ¿¡ ÀÇÇÑ ÃøÁ¤Àº Debye-Ring ÀÇ ÀϺθ¸À» °ËÃâÇÑ´Ù.
ȸÀý¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °áÁ¤ÀÇ ¼ö°¡ Àû°ÔµÇ¸é ÀÌ Debye-Ring ÀÌ ¹ÝÁ¡»óÅ·ΠµÇ¹Ç·Î ½Ã·áÀÇ ÀçÇö¼º ÃøÁ¤½Ã ȸÀýX¼± °­µµÀÇ º¯µ¿ÀÌ Ä¿Áö°Ô µÈ´Ù.
´ÙÀ½ Ç¥´Â ÀÔ°æ¿¡ ´ëÇÑ ¼®¿µ(a-SiO2)ÀÇ È¸ÀýX¼± °­µµÀÇ ÀçÇö¼ºÀÇ º¯È­¸¦ Ç¥½ÃÇϸç, ÀÔ°æÀÌ ÀÛÀº°æ¿ì ȸÀýX¼± °­µµÀÇ ÀçÇö¼ºÀÌ ÁÁ¾ÆÁö´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.

°áÁ¤ÀÔÀÚÀÇ Å©±â¿¡ ´ëÇÑ È¸ÀýX¼± °­µµÀÇ ÀçÇö¼º
Sample : a-Quartz (101)
Radiation : Cu Ka
Counter : Geiger counter
½Ã·á No. 15 ~ 50 mm 5 ~ 50 mm 5 ~ 15 mm ~ 5 mm
17,6128,68810,84111,055
28,3739,04011,33611,040
38,25510,23210,04611,386
49,3339,33311,59711,212
54,8238,53011,54111,460
611,1238,61711,33611,260
711,05111,59811,68611,241
85,7737,81811,28811,428
98,5258,02111,12611,406
1010,25510,19010,87811,444
Æò±Õ8,5139,02711,16811,293
Ç¥ÁØÆíÂ÷2,0811,164485157
»ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷(%)24.412.64.31.4
H.P. Klug and L.E. Alexander : "X-Ray Diffraction Procedures" 2nd Edition,
John Wiley & Sons, New York, p. 366 (1974).

´ÙÀ½ Ç¥´Â ½Ã·áÀÇ ¸é³»È¸ÀüÀ» ÇÑ °æ¿ì¿Í ÇÏÁö¾ÊÀº °æ¿ìÀÇ ÀçÇö¼º º¯È­ÀÇ ÇÑ ¿¹À̸ç, °°Àº ÀÔ°æµµ ½Ã·á¸¦ ¸é³»È¸Àü ½ÃŲ °æ¿ì°¡ ÀçÇö¼ºÀÌ ÁÁÀº°ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.

ȸÀýX¼±°­µµÀÇ ÀçÇö¼º(»ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷) ¿¡ ´ëÇÑ ½Ã·á ¸é³»È¸ÀüÀÇ È¿°ú
»ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷ (%)
63 ~ 44 mm 44 ~ 30 mm 30 ~ 25 mm
Á¤ÁöȸÀüÁ¤ÁöȸÀüÁ¤ÁöȸÀü
a-SiO2 (100) 12.13.78.01.9---1.1
a-SiO2 (101) 9.43.07.21.94.10.9
a-SiO2 (110) 11.94.810.92.57.41.4

ȸÀü ½Ã·á´ë¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ºñ±³Àû ÀÔ°æÀÌ Å« 25 ~ 30mm ÀÇ ½Ã·áµµ »ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷°¡ 1% Á¤µµ±îÁö ³·¾ÆÁö¸ç Á¤·®¿¡µµ ÃæºÐÈ÷ »ç¿ëÇÒ Á¤µµÀÇ ÀçÇö¼ºÀÌ ¾ò¾îÁø´Ù.

(3) X¼±ÀÇ Ä§ÀÔ±íÀÌ¿Í È¸ÀýX¼± °­µµ ÀçÇö¼º

ȸÀý¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °áÁ¤ÀÇ ¼ö´Â Á¶»ç¿µ¿ª, Á¶»ç¸éÀû°ú X¼± À¯È¿µÎ²²(effective thickness)ÀÇ °ö¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.
¶Ç, X¼± À¯È¿µÎ²²´Â ¼±Èí¼ö°è¼ö m ¿¡ ¹Ýºñ·Ê ÇÑ´Ù.

ÀÔ°æ°ú ¼±Èí¼ö°è¼öÀÇ È¸ÀýX¼±°­µµ ÀçÇö¼º¿¡ÀÇ ¿µÇâ

ÀÔ°æ°ú ¼±Èí¼ö°è¼ö (m)ÀÇ È¸ÀýX¼±°­µµ ÀçÇö¼º¿¡ÀÇ ¿µÇâ
(H. P. Klug and L. E. Alexander, 1974) : Cu Ka
Âü°ím°ª (¹Ðµµ´Â °íüÀÇ ¹ÝÀ¸·Î °è»ê)
a-SiO2 ºÐ¸» : 45.7 cm-1
Fe2O3 ºÐ¸» : 604.8 cm-1

À§ ±×¸²Àº ¼±Èí¼ö°è¼ö m ¿Í ÀÔ°æÀÇ È¸ÀýX¼± °­µµÀÇ ÀçÇö¼º°úÀÇ °ü°è¸¦ Ç¥½ÃÇÑ °ÍÀ̸ç, °°Àº ÀÔ°æÀÌ¶óµµ m °¡ ÀÛÀºÂÊÀÌ ÀçÇö¼ºÀÌ ÁÁÀº°ÍÀ» ³ªÅ¸³½´Ù.

(4) X¼± ħÀÔ±íÀÌ(À¯È¿µÎ²²)ÀÇ °è»ê

¹«Çѵβ²ÀÇ ½Ã·á¿¡¼­ ¾ò¾îÁö´Â ȸÀý°­µµ¿Í À¯Çѵβ² x cm ÀÇ ½Ã·á¿¡¼­ ¾ò¾îÁö´Â ȸÀýX¼±°­µµÀÇ ºñ Gx ´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº °ü°è°¡ µÈ´Ù.

Gx =
x d ID
0
= 1 - exp (
- 2 m x )
---------------- ----------
oo d ID
0
sin q

x = -ln (1 - Gx) sin q = Kx sin q
-------------------- -----------------
2m 2m

Gx(%) 507590959999.9
Kx 0.691.392.303.004.616.91

99%ÀÇ °­µµ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Â À¯È¿µÎ²² x´Â Kx=4.61 ·Î °è»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

(5) ºÐ¼â¿¡ ÀÇÇÑ È¸ÀýX¼±°­µµÀÇ º¯È­

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ¼®¿µÀÇ ÀÔ°æ°ú ȸÀýX¼±°­µµÀÇ °ü°è¸¦ Ç¥½ÃÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

¼®¿µ ÀÔ°æ°ú ȸÀýX¼±°­µµÀÇ °ü°è

¼®¿µ ÀÔ°æ°ú ȸÀýX¼±°­µµÀÇ °ü°è
(Gordon and Harris, 1956)

ÀÔ°æ 30 mm À̻󿡼­ °­µµÀÇ °¨¼Ò´Â extinction effect¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
¶Ç, 3 mm ÀÌÇÏ¿¡¼­ °ËÀºÁ¡ÀÇ È¸ÀýX¼±°­µµ(ÀûºÐ°­µµ¿¡ »ó´ç)ÀÇ °¨¼Ò´Â ÀÔÀÚÇ¥¸é¿¡¼­ ºñÁ¤ÁúÀÇ Áõ°¡(Grinding effect)¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
Èò Á¡ÀÇ È¸ÀýX¼±°­µµ´Â ÀûºÐ°­µµ º¸´Ù´Â ¾à°£ °­µµÀÇ °¨¼Ò°¡ ³ªÅ¸³ª´Âµ¥, ÀÌ°ÍÀº °áÁ¤ÀÔÀÚ°¡ ÀÛ¾ÆÁö¹Ç·Î ÀÎÇÏ¿© ¹Ý°¡ÆøÀÇ Áõ°¡·Î ³ªÅ¸³­´Ù.
ÀÔ°æÀÇ Á¶Á¤Àº Á¤·®ºÐ¼®¿¡¼­´Â Áß¿äÇÑ ÀÛ¾÷ÀÌ´Ù.
´ÙÀ½ Ç¥´Â ºÐ¼â½Ã°£°ú »ó´ë°­µµ, ÀçÇö¼ºÀÇ °ü°è¸¦ Ç¥½ÃÇÑ´Ù.

½Ã·á
(ȸÀýX¼±)
ÃøÁ¤¹ý ºÐ¼â½Ã°£¿¡ ÀÇÇÑ È¸ÀýX¼±°­µµ (Á¤¹Ðµµ)
0 min20 min40 min60 min
ÀÚö±¤
(2.53)
A
B
100 (11.5)
100 (8.3)
99 (5.3)
102 (7.4)
96 (4.4)
102 (3.4)
89 (8.3)
109 (3.3)
Àûö±¤
(2.69)
A
B
100 (6.5)
100 (4.0)
95 (7.4)
103 (3.8
96 (5.6)
105 (3.0)
97 (3.8)
94(7.7)
¼®¿µ
(3.343)
A
B
100 (8.7)
100 (2.2)
92 (3.6)
96 (1.3)
96 (2.5)
94 (1.2)
89 (2.6)
92 (1.3)
¿°È­Ä®·ý
(3.146)
A
B
100 (2.3)
100 (1.3)
95 (0.45)
94 (1.8)
89 (0.36)
93 (1.2)
¼¶¾Æ¿¬±¤
(3.12)
A
B
100 (4.6)
100 (5.7)
82 (2.3)
85 (2.1)
72 (1.9)
73 (1.5)
66 (0.8)
65 (1.4)
Çü¼®
(3.153)
A
B
100 (11.7)
100 (8.1)
44 (7.6)
56 (10.8)
35 (10.6)
52 (8.4)
27 (10.5)
38 (9.9)
¹æÇؼ®
(3.053)
A
B
100 (9.6)
100 (7.2)
54 (2.4)
63 (1.6)
43 (6.3)
61 (1.1)
37 (1.7)
60 (2.1)
¹é¿î¼®
(2.886)
A
B
100 (17.4)
100 (3.4)
41 (8.5)
47 (3.3)
33 (4.1)
40 (1.8)

ÃøÁ¤¹ý BÀÇ °­µµ(ÀûºÐ°­µµ¿¡ »ó´ç)ÀÇ °¨¼Ò´Â ºñÁ¤ÁúÈ­°¡ ½ÃÀ۵Ǵ °ÍÀ» ³ªÅ¸³½´Ù.
¹é¿î¼®(Dolomite)Àº ºñÁ¤ÁúÈ­°¡ ½¬¿î °áÁ¤ÀÌ´Ù.
À¯±â°áÁ¤µéÀº »óÇϱ⠽¬¿î °ÍÀ¸·Î ºÐ¼âÇÒ¶§ ÃæºÐÈ÷ ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ºÐ¼â·Î À¯±â¹°ÀÌ ºñÁ¤ÁúÈ­µÈ ¿¹ ÀÌ´Ù.

À¯±â°áÁ¤ÀÇ ºÐ¼â°úÁ¤¿¡ ÀÇÇÑ ºñÁ¤ÁúÈ­

À¯±â°áÁ¤ÀÇ ºÐ¼â°úÁ¤¿¡ ÀÇÇÑ ºñÁ¤ÁúÈ­
½Ã·á : g-Cyclodextrin
(À§ºÎÅÍ ¹ÌºÐ¼â, ºÐ¼â 7ºÐ, 15ºÐ, 22ºÐ, 30ºÐ)


(6) ½Ã·áÀÇ ¹èÇ⼺

X¼±È¸ÀýÀåÄ¡¿¡¼­´Â °áÁ¤ºÐ¸»À» ÃøÁ¤¸é°ú ÆòÆòÇÏ°Ô ½Ã·áÆÇ¿¡ ÃæÀüÇÑ´Ù.
SiC, Graphite, Mica Kaolinite µîÀÇ Á¡Å䱤¹°Àº Àú¸é(00l)¿¡ ¿ÏÀüÇÑ Cleavage¸¦ °¡Áö°í ÀÖ¾î ½Ã·áÀÇ °á¹æÇâÀ¸·Î ¹èÇ⼺ÀÌ ´Þ¶óÁ® ȸÀýX¼±°­µµ°¡ º¯È­ÇÑ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²Àº Glass ½Ã·áÆÇ¿¡ ´Ù¸¥¾çÀÇ Kaolinite¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ȸÀýX¼±°­µµº¯È­¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

Kaolinite ÀÇ ÃæÀü·®¿¡ ÀÇÇÑ ¹èÇâÀÇ º¯È­

Kaolinite ÀÇ ÃæÀü·®¿¡ ÀÇÇÑ ¹èÇâÀÇ º¯È­
(½Ã·á·®Àº À§ºÎÅÍ 200, 170, 120 mg)

½Ã·á·®ÀÌ ¸¹°í, ÃæÀüÇÒ¶§ ÃøÁ¤¸é¿¡ ¼öÁ÷ÇÑ ÈûÀÌ °­ÇÏ°Ô °¡ÇØÁø ½Ã·áµéÀº (00l)ÀÇ È¸Àý¼±ÀÌ °­ÇÏ°Ô ³ªÅ¸³²À» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
120 mg ÀÇ ½Ã·á´Â ½Ã·á¸é¿¡ ÃæºÐÇÑ ¾Ð·ÂÀÌ °¡ÇØÁöÁö ¾Ê¾Ò°í ¼Ò·®ÀÌÁö¸¸ ½ÇÁ¦·Î´Â À̰͵µ ¹èÇ⼺ ¶§¹®¿¡ (00l) ÀÌ °­ÇÏ°Ô ³ªÅ¸³­´Ù.
¿ªÀ¸·Î, Á¡Å䱤¹°ÀÇ Á¤¼ººÐ¼®¿¡¼­´Â (00l)ÀÇ Æ¯Á¤¼±À¸·Î µ¿Á¤ÇÏ´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù.
¹èÇâÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹Ì·®¼ººÐµµ ¿ëÀÌÇÏ°Ô µ¿Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇѹæÇ⠽÷áÀÇ ¹èÇâÀ» ³·Ãß°í, RandomÇÑ È¸Àý PatternÀ» ¾ò±â À§ÇÏ¿© ¿©·¯°¡Áö ¹æ¹ýÀ¸·Î ½ÃÇèÇÑ´Ù.
´ÙÀ½Àº ±× ¿¹ÀÌ´Ù.

- ½Ã·á¿¡ ÇÑ ¹æÇâÀ¸·Î ¾Ð·ÂÀ» °¡ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

½Ã·á¼öÆòÇü Goniometer ¿¡¼­´Â ÃøÁ¤Áß¿¡ ½Ã·á°¡ °æ»çÁöÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ¼ºÇüÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ ½Ã·á´Â ¶³¾îÁöÁö ¾Ê´Â´Ù.
µû¶ó¼­ ½Ã·áÆÇÀÇ ½Ã·áºÎ¿¡ ½Ã·áºÐ¸»À» ½×À¸¸é ÁÁ´Ù.
±×·¯³ª ½Ã·áÆò¸éÀÇ È®º¸, ½Ã·á¸é°ú ±âÁظéÀÇ ÀÏÄ¡´Â ÇÊ¿äÇϹǷΠ½Ã·á¿¡ ¾Ð·ÂÀÌ °¡ÇØÁöÁö ¾Êµµ·Ï ½Ã·áÇ¥¸éÀ» Æò¸éÀÌ µÇµµ·Ï ÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.

- Èñ¼®Á¦¸¦ È¥ÇÕÇÑ´Ù.

ºñÁ¤Áú ¹°Áú(¿¹¸¦µé¾î Silicagel)À» 50% Á¤µµ È¥ÇÕÇÏ¸é ½Ã·áÀÇ ¹èÇ⼺À» °æ°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª ´Ù¸¥Á¾·ùÀÇ ¹°ÁúÀ» È¥ÇÕÇÏ´Â °ÍÀ̹ǷÎ, °áÁ¤È­µµ ÃøÁ¤ µî¿¡´Â Àû¿ëÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.

- ȸÀüÁøµ¿ ½Ã·á´ë¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.

ȸÀü ½Ã·á´ë·Î´Â ¹èÇâÀº ¾ø¾îÁöÁö ¾ÊÁö¸¸, ȸÀüÁøµ¿ ½Ã·á´ë(½Ã·áÀÇ ¸é³»È¸Àü°ú µ¿½Ã¿¡ Áøµ¿À» ÇÏ´Â ½Ã·á´ë)¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ¹èÇâÀÇ ¿µÇâÀÌ ³·°ÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
öÀç AusteniteÀÇ Á¤·®µî¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
´Ü°áÁ¤ÀÇ Powder pattern µµ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¼ºÇü½ÃŲ ºÐüµµ ¿ø¸®ÀûÀ¸·Î´Â ÀÌ·¸°Ô ¹èÇ⼺À» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª ºÐÇØ´ÉÀÌ ¶³¾îÁö°í, ƯÈ÷ ¿©·¯¼ººÐÀÇ È¥ÇÕ¹°¿¡ÀÇ Àû¿ëÀº °ï¶õÇÏ´Ù.

2) ½Ã·áÀÇ ÃæÀü

X¼±ÀÌ ÀÔ»çÇÏ´Â ½Ã·á¸éÀº Æò¸éÀÌ µÇ°ÔÇÏ°í ±× ¸éÀ» GoniometerÀÇ È¸ÀüÃà¿¡ ÀÏÄ¡½Ãų ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.
½Ã·áÆÇ¿¡´Â Ç¥½Ã°¡ µÇ¾îÀÖ°í ±× ¸éÀº Á¤¹Ðµµ°¡ ÁÁ°Ô µÇ¾îÀÖ´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ Goniometer ¿¡´Â ½Ã·á´ëÀÇ ±âÁظ鿡 ½Ã·áÆÇ°ú ½Ã·á¸¦ ¹ÐÂø½ÃÅ°¸é ½Ã·á°¡ ¹Ù¸£°Ô ¼³Ä¡µÉ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾îÀÖ´Ù.
½Ã·á´ë¿Í ½Ã·áÆÇÀÇ ±âÁظéÀÌ »óÇÏ°Ô Çϰųª À̹°ÁúÀÌ ºÙ¾î À־ ȸÀý°¢ÀÇ ¿ÀÂ÷°¡ »ý±â¹Ç·Î ÁÖÀÇÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
½Ã·áÃæÀüÇÒ ¶§ ½Ã·á¸éÀÌ ½Ã·áÆÇÀÇ ±âÁظé°ú ÀÏÄ¡ ½ÃÅ°´Â°ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù.
ƯÈ÷ ȸÀý°¢ÀÇ Á¤¹ÐÃøÁ¤¿¡¼­´Â ¼¼½ÉÇÑ ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
½Ã·á¸éÀÌ µÚ·Î ±â¿ï¾îÁö¸é ȸÀýX¼±Àº Àú°¢µµ ÃøÀ¸·Î Shift µÇ°í, °Å²Ù·Î ¾ÕÀ¸·Î ±â¿ï¾îÁö¸é °í°¢µµÃøÀ¸·Î Shift µÈ´Ù.
½Ã·áÀ§Ä¡ÀÇ Æí½É·®°ú ȸÀý°¢ÀÇ Shift ¾çÀÇ °ü°è´Â ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ ³ªÅ¸³­´Ù.

½Ã·áÀÇ Æí½É¿¡ ÀÇÇÑ È¸Àý°¢¿ÀÂ÷

½Ã·áÀÇ Æí½É¿¡ ÀÇÇÑ È¸Àý°¢¿ÀÂ÷

¾Æ·¡¿¡ ½Ã·áÀÇ Çüź°·Î Ç¥ÁØÀûÀÎ ÃæÀü¹ýÀ» Ç¥½ÃÇß´Ù.

(1) ºÐ¸»½Ã·á

Ç¥ÁØ ½Ã·áÆÇÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
¾Ë·ç¹Ì´½ ½Ã·áÆÇÀº ½Ã·áºÎ¿¡ 20 mm W X 18 mm H ÀÇ ±¸¸ÛÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ¿©±â¿¡ ½Ã·á¸¦ ä¿î´Ù.
¾Æ·¡ ±×¸²ÀÇ (a) ¿Í °°ÀÌ À¯¸®ÆÇ À§¿¡ ½Ã·áÆÇÀÇ Ç¥½ÃºÎºÐÀ» ¾Æ·¡·Î ³õ´Â´Ù. (¿ÞÂÊÀ§¿¡ Ç¥½Ã°¡ Àִ¸é)
(b),(c) ¿Í °°ÀÌ À¯¸®ÆÇ°ú ½Ã·áÆÇÀÌ ¹ÐÂøµÇµµ·Ï ½Ã·áÆÇÀ» Áö±ßÀÌ ´©¸£¸ç ÀÛÀº À¯¸®ÆÇ µîÀ¸·Î º¸Á¶ÀûÀ¸·Î ½Ã·á¸¦ ±¸¸Û¿¡ ±ÕµîÇÏ°Ô ³Ö´Â´Ù.
(d) ¿Í °°ÀÌ ¾àÆ÷Áö¸¦ ½Ã·áÀ§¿¡ ³õ´Â´Ù.
(e) ¿Í °°ÀÌ ¼Õ°¡¶ôÀ¸·Î ²À²À ´©¸¥´Ù.
(f) ¿Í °°ÀÌ À¯¸®ÆÇ°ú ¹ÐÂøµÈ ¸éÀÌ ÃøÁ¤¸éÀÌ µÇ¹Ç·Î ½Ã·á¸éÀÇ ÀçÇö¼ºÀ» ¾ò±â¿¡ ÁÁ´Ù.

Al ½Ã·áÆÇÀÇ »ç¿ë¹ý

Al ½Ã·áÆÇÀÇ »ç¿ë¹ý

Vertical Goniometer ³ª ºñ±³Àû ÀûÀº ½Ã·á, ÃæÁøÇϱ⠾î·Á¿î ½Ã·á µîÀº Ç¥ÁØ Glass ½Ã·áÆÇÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
½Ã·áÃæÁøºÎ¸¦ 0.2 mm ¶Ç´Â 0.5 mm ±íÀÌ·Î ÆÄÀÎ ½Ã·áÆÇÀÌ ÀÖ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸² (b) ¿Í °°ÀÌ ½Ã·á¸¦ ³Ö°í ÀÛÀº À¯¸®ÆÇ µîÀ¸·Î ½Ã·á¸¦ °¡º±°Ô ´­·¯ ³Ð°Ô Æì¼­ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÃæÀüÇÑ´Ù.
½Ã·á°¡ ¸¹Àº °æ¿ì´Â (c) ¿Í °°ÀÌ À¯¸®ÆÇ µîÀ» ºñ½ºµëÀÌ ÇÏ¿© ±Ü¾î³½´Ù.
½Ã·á¸é°ú Glass ½Ã·áÆÇÀÌ µ¿ÀϸéÀÌ µÇÁö¾ÊÀ¸¸é ȸÀý¼± À§Ä¡ÀÇ ¿ÀÂ÷°¡ »ý±ä´Ù.
¶Ç, Carbon °ú °°ÀÌ Èí¼ö°è¼ö°¡ ÀÛÀº ½Ã·á¿¡¼­´Â ½Ã·á ¾Æ·¡ÀÇ Glass °¡ ½Ã·áÀÇ È¸Àý¼±°ú ÁßøµÇ¾î °ËÃâµÇ´Â °æ¿ìµµ ÀÖÀ¸¹Ç·Î °áÁ¤È­µµÃøÁ¤ µî¿¡´Â ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

Glass ½Ã·áÆÇÀÇ »ç¿ë¹ý

Glass ½Ã·áÆÇÀÇ »ç¿ë¹ý

¹«¹Ý»ç ½Ã·áÆÇÀº ȸÀý¼±ÀÌ °ËÃâµÇÁö ¾Ê´Â ¹æÀ§·Î ´Ü°áÁ¤À» Àý´ÜÇÑ ÀúºÎ ½Ã·áÆÇÀ¸·Î, Glass ½Ã·áÆÇ°ú °°ÀÌ ¿°·ÁÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø´Ù.

(2) ¼Ò·®, ¹Ì·®ÀÇ ºÐ¸»½Ã·á

Glass ½Ã·áÆÇ À̳ª ¹«¹Ý»ç ½Ã·áÆÇÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
½Ã·á·®ÀÌ ÀûÀº °æ¿ì´Â Á߽ɺο¡ ¼¼·Î·Î ±æ°Ô ÃæÀüÇÑ´Ù.
½Ã·áÆøÀÌ Á¼À¸¹Ç·Î ¹ß»ê(Divergence) Slit ´Â Á¼°ÔÇÑ´Ù.
¹Ì·®ÀÇ ½Ã·á¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °æ¿ì´Â ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã·áÆÇÀÇ ´Ù¸¥ÂÊÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.
½Ã·áÆÇÀ» µÚ·ÎÇÏ¿© ÃÊ»ê À̼ҾƹзΠ¹±°ÔÇÑ ¿ë¾×, ³×¿ÀÇÁ·» °í¹«¸¦ ³ìÀÎ Åç·ç¿£ µîÀ» ÃøÁ¤ Á߽ɺο¡ ÀÔÈ÷°í, ¿©±â¿¡ ½Ã·áºÐ¸»À» »Ñ¸°´Ù.
ÀÚ¿¬°ÇÁ¶ ½ÃŲÈÄ ÃøÁ¤ÇÑ´Ù.
ÀÌ·¸°Ô ÃøÁ¤ÇÏ¸é ½Ã·á·®ÀÌ ÀûÀ¸¹Ç·Î ½Ã·áÆÇ¿¡¼­ÀÇ »ê¶õÀÌ Background·Î ³ªÅ¸³­´Ù.
Glass ½Ã·áÆÇ º¸´Ù´Â ¹«¹Ý»ç ½Ã·áÆÇÀÌ È®½ÇÈ÷ P(Peak)/B(Background) ºñ°¡ ÁÁ´Ù.

(3) ÆÇ ÇüÅÂ, Block ½Ã·á

°¡°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì´Â Al ½Ã·áÆÇ¿¡ µé¾î°¥ Á¤µµÀÇ Å©±â·Î Àß¶ó¼­ Al ½Ã·áÆÇÀÇ µÚÂÊ¿¡¼­ Compound ·Î °íÁ¤ÇÑ´Ù.
1mm Á¤µµ µÎ²²ÀÇ ÆÇÀÌ¸é ½Ã·áÆÇÀÇ Å©±â Á¤µµ·Î Àß¶ó¼­ ±×´ë·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

°¡°øÇÒ ¼ö ¾ø´Â °æ¿ì´Â ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ L ÀÚ ¸ð¾çÀÇ Block ½Ã·áÆÇÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Compound ·Î °íÁ¤ÇÑ´Ù.
Compound ¿¡¼­µµ ȸÀý¼±ÀÌ ³ª¿À¹Ç·Î ÃøÁ¤¸éÀ¸·Î ³ª¿ÀÁö ¾Êµµ·Ï ÁÖÀÇÇÑ´Ù.

Block ½Ã·áÀÇ Sampling

Block ½Ã·áÀÇ Sampling

¼± Çüųª ¿øÅëÀÇ ½Ã·á´Â ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ Á÷¼±¹æÇâÀ¸·Î X¼±ÀÌ Á¶»ç µÇµµ·Ï ‡¶Çô¼­, Compound ·Î °íÁ¤ÇÑ´Ù.
¹Ý°æÀÌ Å« ¿øÅëÀÎ °æ¿ì´Â ÀÔ»çX¼±ÀÇ À§¾Æ·¡ Å©±â¸¦ Á¦ÇÑÇÏ¿© ±âÁظéÀ¸·ÎºÎÅÍ ¹þ¾î³­ ºÎºÐ¿¡ Á¶»ç°¡ µÇÁö ¾Êµµ·Ï ÇÑ´Ù.

¼± ÇüÅÂ, ¿øÅë½Ã·áÀÇ Sampling

¼± ÇüÅÂ, ¿øÅë½Ã·áÀÇ Sampling

3) X-Ray Target ÀÇ ¼±ÅÃ

ºÐ¸»ÀÇ Á¤¼ººÐ¼®¿¡´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î Cu Target À» »ç¿ëÇÑ´Ù.
Monochromator ·Î ´Ü»öÈ­ ½ÃÅ°¸é ½Ã·á·Î ºÎÅÍÀÇ Çü±¤X¼±ÀÌ Á¦°Å µÇ¹Ç·Î P/B ºñ°¡ ÁÁÀº Data ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª Cu Target À¸·Î Cu °èÀÇ ½Ã·á¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °æ¿ì´Â ÃøÁ¤X¼±°ú Çü±¤X¼±ÀÌ µ¿ÀÏÇÑ ÆÄÀåÀÌ µÇ¹Ç·Î Çü±¤X¼±À» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.
Kb Filter ¹ýÀÇ °æ¿ì´Â Target Àç·áÀÇ ±¸¼º¿ø¼Ò¿¡ µû¶ó¼­ P/B ºñ°¡ º¯È­ÇÑ´Ù.
Target ÀÇ ¼±ÅÃÀº ¶Ç ȸÀý°¢µµ, ºÐ¼®±íÀÌ¿¡µµ ¿µÇâÀ» ¹ÞÀ¸¹Ç·Î Áß¿äÇÏ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²µéÀº µ¿ÀÏÇÑ ½Ã·á¸¦ ´Ù¸¥ Target À¸·Î ÃøÁ¤ÇÑ Data ÀÌ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ Data ÀÇ ´Ù¸¥Á¡À» ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¼³¸íµÈ´Ù.

(1) ÃøÁ¤ÆÄÀå°ú Çü±¤X¼±

X¼±ÀÇ ÆÄÀåÀÌ ½Ã·á¸¦ ±¸¼ºÇÏ°íÀÖ´Â ¿ø¼ÒÀÇ Èí¼ö´Ü ÆÄÀ庸´Ù ¾à°£ ªÀº °æ¿ì, X¼±ÀÇ Èí¼ö°¡ ¸¹°í, ¿©±âµÇ´Â Çü±¤X¼±ÀÇ ¾çÀÌ Áõ°¡ÇÑ´Ù.
Kb Filter ¹ýÀÇ °æ¿ì´Â ÀÌ°ÍÀÌ Background °¡ µÇ¹Ç·Î P/B ºñ°¡ ³ª»Ú°Ô µÇ¸ç, ÀÛÀº Peak ÀÇ °ËÃâÀÌ °ï¶õÇÏ°Ô µÈ´Ù.

´ÙÀ½ ±×¸²ÀÇ Cu Target °ú Cr Target ÀÇ Data Â÷ÀÌÁ¡Àº ½Ã·á¿¡¼­ ¹ß»ýµÈ Çü±¤X¼± (FeKa, b) ¾çÀÇ Â÷ÀÌ ¶§¹®ÀÌ´Ù.
Fe°è ½Ã·áÀÇ Çü±¤X¼±À» ¿©±â ½ÃÅ°Áö ¾Ê´Â Target ¿¡´Â Mo, Fe, Cr µîÀÌÀÖ´Ù.
Kb Filter ¹ý ¿¡¼­´Â ½Ã·á¿ø¼Ò¿¡ ´ëÇÑ Áú·®Èí¼ö°è¼ö°¡ ÀÛÀº Target (ÆÄÀå) À» ¼±ÅÃÇصµ P/B ºñ°¡ ÁÁÀº Data °¡ ¾ò¾îÁø´Ù.

Cu Target °ú Cr Target ÀÇ Data Â÷ÀÌÁ¡ (½Ã·á:Fe3O4)

Cu Target °ú Cr Target ÀÇ Data Â÷ÀÌÁ¡ (½Ã·á:Fe3O4)
ÃøÁ¤ÀåÄ¡ : ¹Ì¼ÒºÎ X¼±È¸ÀýÀåÄ¡ PSPC/MDG
ÀԻ簢 : 30o, Kb Filter ¹ý

(2) ÃøÁ¤ÆÄÀå°ú ȸÀý°¢

Bragg Á¶°Ç¿¡ ÀÇÇÏ¿© ȸÀý°¢ÀÌ °áÁ¤µÈ´Ù.
µû¶ó¼­, ÆÄÀåÀÌ Âª°Ô µÇ¸é ȸÀýX¼±Àº Àú°¢µµÃøÀ¸·Î Shift µÇ°í, ÆÄÀåÀÌ ±æ°Ô µÇ¸é ȸÀýX¼±Àº °í°¢µµÃøÀ¸·Î Shift µÈ´Ù.
¶Ç, MoKa ¿Í °°ÀÌ ÂªÀ¸¸é Peak °¡ ¹ÐÁýµÇ°í ±ÙÁ¢ÇÑ Peak ÀÇ ºÐ¸®°¡ ¾î·Æ°Ô µÈ´Ù.
°í°¢µµÀÇ Peak ´Â °ÝÀڸ鰣°ÝÀÇ Â÷ÀÌÁ¡¿¡ ÀÇÇÏ¿© ȸÀý°¢ÀÇ Shift ¾çÀÌ Å©°ÔµÇ¾î, °ÝÀڸ鰣°ÝÀÇ Á¤¹ÐÃøÁ¤¿¡ Àû´çÇÏ´Ù.
À§ ±×¸²¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â Peak À§ÀÇ ¼ýÀÚ´Â °°Àº °ÝÀÚ¸éÀ¸·Î µÇ¾îÀÖ´Â °ÍÀ» Ç¥½ÃÇÑ´Ù.
ÀÌ ±¤Çаè, ÃøÁ¤Á¶°ÇÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹üÀ§´Â 2q > 30o À̹ǷÎ, Cu Target ¿¡¼­´Â No.1 ÀÇ Peak ´Â ÃøÁ¤¹üÀ§¸¦ ¹þ¾î³ª °ËÃâµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
»ç¿ëÇÏ´Â ±¤Çа迡¼­ ÃøÁ¤ÇÏ·Á°í ÇÏ´Â d °ªÀÌ ÃøÁ¤¹üÀ§³»¿¡ ÀÖ´Â Target À» ¼±ÅÃÇÑ´Ù.

Target : Mo

Target : Mo (Kb Filter)
Mo Target °ú Cu Target ÀÇ Data Â÷ÀÌÁ¡ (½Ã·á:Fe)


Target : Cu

Target : Cu (Monochromator)
Mo Target °ú Cu Target ÀÇ Data Â÷ÀÌÁ¡ (½Ã·á:Fe)

(3) ÃøÁ¤ÆÄÀå°ú ħÀÔ±íÀÌ

ÆÄÀå¿¡ µû¶ó¼­ ħÀÔ±íÀÌ°¡ ´Ù¸£¸ç, ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÆÄÀåÀÌ ÂªÀ¸¸é X¼±ÀÌ ±íÀÌ Ä§ÀÔÇÑ´Ù.
À§ ±×¸²Àº Fe ¸¦ Mo Target °ú Cu Target À¸·Î ÃøÁ¤ÇÑ °ÍÀ¸·Î, ¸ðµÎ a »ó°ú g »óÀÌ °ËÃ⠵Ǿú´Ù.
ħÀÔ±íÀÌ°¡ ÀûÀº Cu Target ÀÇ Data ÂÊÀÌ Mo Target ÀÇ Data º¸´Ù g »óÀÌ ¸¹Àº°ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ°ÍÀº ³»ºÎº¸´Ù Ç¥¸éÃþ¿¡ g »óÀÌ ¸¹Àº°ÍÀ» ³ªÅ¸³½´Ù.
±íÀÌ ¹æÇâÀ¸·Î °áÁ¤»óºÐÆ÷°¡ ÀÖ´Â °æ¿ì´Â ºÐ¼®±íÀÌÀÇ °í·Á°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
Åõ°ú¹ý ÃøÁ¤À¸·Î Cu ·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ¾ø´Â ½Ã·áµµ Mo ·Î ÃøÁ¤°¡´ÉÇÑ °æ¿ìµµ ¸¹´Ù.
À̰͵µ ħÀÔ±íÀÌÀÇ È¿°úÀÌ´Ù.

5 Á¾·ùÀÇ Target ¿¡ ÀÇÇÑ Fe3O4 (311) ÀÇ ÃøÁ¤°á°ú

5 Á¾·ùÀÇ Target ¿¡ ÀÇÇÑ Fe3O4 (311) ÀÇ ÃøÁ¤°á°ú

(4) ȸÀý¿ë X¼± Target °ú ¿ëµµ

À§ÀÇ ±×¸²Àº Fe3O4 (311) À» 5 Á¾·ùÀÇ Target (Kb Filter ¹ý) À¸·Î ÃøÁ¤ÇÑ °á°úÀÌ´Ù.
Target ¿¡ µû¸¥ Peak À§Ä¡, Background °­µµ µîÀÇ Â÷ÀÌ´Â ¾Õ¿¡¼­ ¼³¸íÇÑ ÀÌÀ¯ ¶§¹®ÀÌ´Ù.

ȸÀý¿ë ÀÏ¹Ý X¼±°üÀÇ ¿ëµµ
Target ÀÇ Á¾·ù ÁÖµÈ Æ¯Â¡ ¿ëµµ
Cu ¸é°£°Ý 1 ~ 10 ÀÇ ÃøÁ¤¿¡ Àû´çÇÏ´Ù. ÃøÁ¤Àü¹Ý
(Kb Filter ¹ýÀ¸·Î Fe°è ½Ã·áÀÇ ÃøÁ¤¿¡´Â ºÎÀûÇÕ)
Co Fe ½Ã·áÀÇ È¸Àý¼±ÀÌ °­ÇÏ´Ù.
(Kb Filter ¹ý ¿¡¼­´Â Background °¡ ³ô´Ù)
Monochromator ¹ýÀ¸·Î Fe°è ½Ã·áÀÇ ÃøÁ¤¿¡ ÀûÇÕ
Fe Fe ½Ã·áÀÇ Background °¡ Àû´Ù.
Filter ¹ýÀ¸·Î Fe°è ½Ã·áÀÇ ÃøÁ¤¿¡ ÃÖÀû
Cr ÆÄÀåÀÌ ±æ´Ù.
Fe ½Ã·á¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÀÀ·ÂÃøÁ¤
PSPC/MDG ¿¡ ÀÇÇÑ ¹Ì¼ÒºÎ (¹Ý»ç¹ý)ÃøÁ¤
Mo ÆÄÀåÀÌ Âª´Ù.
Austenite (g»ó) ¾ç ÃøÁ¤
±Ý¼Ó¹Ú¸·ÀÇ Åõ°ú¹ý ÃøÁ¤ (¼Ò°¢»ê¶õ µî)
W ¿¬¼Ó X¼±ÀÌ °­ÇÏ´Ù.
´Ü°áÁ¤ÀÇ Laue »çÁøÃøÁ¤

À§ÀÇ Ç¥¿¡ ȸÀý¿ë Target ÀÇ ÁÖµÈ ¿ëµµ¸¦ Ç¥½ÃÇß´Ù.
Cu Target À» ±âº»ÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇϸç, Cu Target ÀÌ ÃøÁ¤¸ñÀû¿¡ ¸ÂÁö ¾ÊÀ» ¶§´Â ´Ù¸¥ Target À» ¼±ÅÃÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ´Ù.

4) X¼±ÀÇ ´Ü»öÈ­¿Í Background Á¦°Å

X¼±ÀÇ ´Ü»öÈ­, Background ÀÇ Á¦°Å¹ýÀº ¹Ì¼Ò Peak ÀÇ °ËÃâ¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â Áß¿äÇÑ ÃøÁ¤±â¼úÀÌ´Ù.
´ÙÀ½¿¡ ÀϹÝÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ» ±â¼úÇß´Ù.

(1) Kb Filter ¿Í ÆÄ°íºÐ¼®±â (PHA)

PHA ´Â SC ³ª PC ÀÇ X¼±¿¡ ´ëÇÏ¿© Energy ºÐÇØ´ÉÀ» ÀÌ¿ëÇϸç, ÁÖ·Î ¿¬¼ÓX¼±À» Á¦°ÅÇÏ¿© Background ¸¦ ³·°ÔÇÑ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²Àº ½Ã·áºÎ¿¡ a-Quartz ÀÇ ´Ü°áÁ¤À» ³õ°í, 2q/q Scanning À¸·Î Cu Target ÀÇ ÆÄÀåºÐÆ÷¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ Data ÀÌ´Ù.
(a) ´Â PHA ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀº°Í°ú »ç¿ëÇÑ°ÍÀ» À§ ¾Æ·¡·Î ´ÙÁß±â·ÏÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
PHA ÀÇ »ç¿ëÀ¸·Î ÀÎÇØ Àú°¢µµÃøÀÇ Broad ÇÑ »êÀÌ ¸¹ÀÌ °¨¼ÒÇÑ°ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ°ÍÀº ¿¬¼ÓX¼±ÀÇ ´ÜÆÄÀåÃøÀÌ Á¦°ÅµÈ°ÍÀ» Ç¥½ÃÇÑ´Ù.

(a) PHA ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀ»¶§¿Í »ç¿ëÇÒ¶§

(a) PHA ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀ»¶§¿Í »ç¿ëÇÒ¶§
(Cu Target, ½Ã·á : Quartz ÀÇ ´Ü°áÁ¤)

´ÙÀ½¿¡ Kb Filter ¸¦ »ç¿ëÇϸé (b) ¿Í °°ÀÌ Kb ¼±°ú ±× ±ÙóÀÇ ¿¬¼ÓX¼±µµ Á¦°Å µÇ¾ú´Ù.
Ka ¼±ÀÇ 1% Á¤µµÀÇ Kb ¼±ÀÌ ³²°í, ¿¬¼ÓX¼±µµ Escape Peak (±×¸²¿¡ E.P. ·Î Ç¥½Ã) ¿Í CuKa ¼± º¸´Ù ±ä ÆÄÀ念¿ªÀ¸·Î Á¦°ÅÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¿µ¿ªÀÌ ³²´Â´Ù.
½Ã·á¿¡¼­ 2Â÷ÀûÀ¸·Î ¹ß»ýÇÏ´Â Çü±¤X¼±µµ ÃøÁ¤µÈ´Ù.
½Ã·áÃøÁ¤½Ã Kb ¼±Àº ÀÛÀº Peak ·Î µÇ°í, Escape Peak µµ Àú°¢µµÃøÀ¸·Î Peak ¸¦ Çü¼ºÇÑ´Ù.
´Ù¸¥ ¿¬¼ÓX¼±, Çü±¤X¼±Àº Background °¡ µÈ´Ù.

(b) Filter + PHA »ç¿ë

(b) Kb Filter + PHA »ç¿ë
(Cu Target, ½Ã·á : Quartz ÀÇ ´Ü°áÁ¤)

(c) Monochromator + PHA »ç¿ë

(c) Monochromator + PHA »ç¿ë
(Cu Target, ½Ã·á : Quartz ÀÇ ´Ü°áÁ¤)

(2) Counter Monochromator

´ÙÀ½ ±×¸²Àº Graphite (002) ¸é °áÁ¤ÀÇ ºÐ±¤À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½Ã·á·Î ºÎÅÍÀÇ X¼±À» ´Ü»öÈ­ ÇÏ´Â ±¤ÇаèÀÌ´Ù.
À§ ±×¸²ÀÇ (c) ¿Í °°ÀÌ CuKa ¼± ÀÌ¿Ü ÆÄÀåÀÇ X¼±À» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Kb ¼±°ú Contamination ¿¡ ÀÇÇÑ ¹Ì¼Ò Peak µµ ¾ø°í, ¶Ç ½Ã·á¿¡¼­ÀÇ Çü±¤X¼±°ú ¿¬¼ÓX¼±À» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î Background °¡ ³·Àº ÁÁÀº Data °¡ ¾ò¾îÁø´Ù.
±×¸®°í Çü±¤X¼±ÀÇ ¿µÇâÀÌ ÀûÁö¾ÊÀº °æ¿ø¼ÒÀÇ ½Ã·á³ª Target ¿Í °°Àº ¿ø¼ÒÀÇ ½Ã·á¿¡´Â MonochromatorÀÇ È¿°ú°¡ Å©´Ù.

Curved Crystal Monochromator ÀÇ ¿ø¸®µµ

Curved Crystal Monochromator ÀÇ ¿ø¸®µµ

(3) Balanced filter

Monochromator °¡ ÀϹÝÈ­ µÇ±â ÀÌÀü¿¡´Â Àß »ç¿ëÇß´ø ´Ü»öÈ­ ¹æ¹ýÀ¸·Î, Ư¼ºX¼±À» »çÀÌ¿¡µÐ Èí¼ö´ÜÀ» °¡Áø µÎÁ¾·ùÀÇ Filter ¸¦ Åõ°ú½ÃŲ Data ¸¦ °¢°¢ ÃøÁ¤ÇÏ¿©, ÀÌ Data µéÀ» ¼­·Î °¨»êÀ» ÇÏ¿© Ư¼ºX¼± ¸¸ÀÇ »ê¶õ¼±À» ¾ò´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.

Filter ¹°ÁúÀÇ Èí¼ö°è¼ö

(a) Filter ¹°ÁúÀÇ Èí¼ö°è¼ö m

À§ ±×¸²ÀÇ (a) ´Â CuKa ¼±ÀÇ ÆÄÀåÀ» »çÀÌ¿¡ µÎ°í Ni °ú Co ÀÇ Èí¼ö´ÜÀÌ Àִ°ÍÀ» Ç¥½ÃÇÑ´Ù.

Co Filter ÀÇ µÎ²²¸¦ t, Ni Filter ÀÇ µÎ²²¸¦ 0.9t ±Ùó·Î Á¶Á¤ÇÏ¸é ´ÙÀ½ ±×¸² (b) ¿Í °°ÀÌ Èí¼ö´Ü »çÀÌ ÆÄÀå ÀÌ¿Ü ÆÄÀåÀÇ mt ¸¦ °°°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

Balance ¸¦ ¸ÂÃá ÈÄ

(b) Balance ¸¦ ¸ÂÃá ÈÄÀÇ mt

ÀÌ·¸°Ô Balance ¸¦ ¸ÂÃá Ni Filter ·Î ¾òÀº °­µµ INi(2q) ·Î ºÎÅÍ Co Filter ·Î ¾òÀº °­µµ ICo(2q) ¸¦ »©¸é CuKa ¼±ÀÇ Data °¡ ¾ò¾îÁø´Ù.
Filter ÀÇ µÎ²²´Â °­µµÂ÷°¡ ÃÖ´ë°¡ µÇµµ·Ï °áÁ¤Çϸç, À̶§ Co Filter ÀÇ µÎ²² t ´Â

t = 1 loge mCo
-------------- ----------
mCo - 0.9 mNi 0.9 mNi

·Î °è»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Filter µÎ²²ÀÇ ¹ÌÁ¶Á¤Àº °¨»êÇÏ´Â °­µµÀÇ °è¼ö¸¦ °öÇϰųª Soft ¹æ¹ýÀ¸·Î ġȯµµ °¡´ÉÇÏ´Ù.
´Ü°áÁ¤ÀÇ ÃøÁ¤¿¡¼­´Â Balanced filter ¹ýÀº l/2 ÀÇ °íÁÖÆĸ¦ Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÕÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, Monochromator µµ º´ÇàÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ¸é ¾àÇÑ »ê¶õÀÇ ÃøÁ¤µî¿¡µµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Balanced filter ¸¦ ´ÙÀ½ Ç¥¿¡ Á¤¸®ÇØ µÎ¾ú´Ù.

Balanced filter
Ư¼ºX¼± Filter µÎ²² (mm) Filter µÎ²² (mm)
Mo Zr 0.0392 Y
Sr
0.0630
0.1040
Cu Ni 0.0100 Co 0.0108
Co Fe 0.0098 Mn 0.0111
Fe Mn 0.0095 Cr 0.0107
Cr V 0.0097 Ti 0.0146

(4) SSD (Solid State Detector) ¿Í ÆÄ°íºÐ¼®±â (PHA)

SSD ´Â ÆÄÀåºÐÇØ´ÉÀÌ ¿ì¼öÇÑ °ËÃâ±âÀÌ´Ù.
PHA ¿Í °°ÀÌ »ç¿ëÇϸé X¼±ÀÇ ´Ü»öÈ­°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù.
PHA ÀÇ ¼³Á¤¹æ¹ýÀ¸·Î Compton »ê¶õÀÇ Á¦°Åµµ °¡´ÉÇϸç, °æ¿ø¼ÒÀÇ ºñÁ¤ÁúÀÇ µ¿°æºÐÆ÷ÃøÁ¤ µî¿¡ À¯È¿ÇÏ´Ù.

SSD ¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄÀåºÐÆ÷ ÃøÁ¤ (½Ã·á : ¼®¿µÀ¯¸®)

SSD ¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄÀåºÐÆ÷ ÃøÁ¤ (½Ã·á : ¼®¿µÀ¯¸®) 2q = 120o


5) ÃøÁ¤Á¶°ÇÀÇ ¼±ÅÃ

(1) °üÀü¾Ð°ú °üÀü·ù

Ư¼ºX¼±ÀÇ °­µµ´Â °üÀü¾Ð°ú ÃÖÀú¿©±âÀü¾ÐÀÇ Â÷ÀÇ n½Â¿¡ ºñ·ÊÇϸç, °üÀü·ù¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.
°üÀü¾ÐÀÌ ÀÛÀ»¶§´Â nÀº 2 ºÎ±ÙÀ̳ª, °üÀü¾ÐÀÌ Ä¿Áö¸é Á¡Á¡ ÀÛ¾ÆÁø´Ù.
¶Ç Kb Filter ¹ý ¿¡¼­ Background °¡ µÇ´Â ¿¬¼ÓX¼± °­µµ´Â °üÀü¾ÐÀÇ 2½Â¿¡ ºñ·ÊÇϸç, °üÀü·ù¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.
±×·¯¹Ç·Î °üÀü¾ÐÀº °¢°¢ÀÇ Target º°·Î ÃÖÀû°ªÀÌ ÀÖ´Ù.

°üÀü¾Ð V (ºÎÇÏ´Â ÀÏÁ¤) ¿Í ȸÀýX¼±°­µµ (½Ç¼±), P/B ºñ (Á¡¼±)

°üÀü¾Ð V (ºÎÇÏ´Â ÀÏÁ¤) ¿Í ȸÀýX¼±°­µµ (½Ç¼±), P/B ºñ (Á¡¼±)
(X-Ray Tube ¿¡ ÀÇÇÑ ½ÇÇè°ª), ȸÀý¼± : Si (111)

À§ ±×¸²Àº ºÎÇϸ¦ ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ÇßÀ»¶§ °üÀü¾Ð°ú ȸÀý¼± °­µµ, P/B ºñÀÇ ½ÇÃø¿¹ÀÌ´Ù.
ÀÌ Data ·Î ºÎÅÍ °¢°¢ÀÇ Target º°·Î ÃÖ´ë°­µµ¿Í ÃÖ´ë P/B ºñ (°¢°¢ 3% À̳»)¸¦ ¾ò´Â ÃÖÀûÀÇ °üÀü¾ÐÀ» Á¤¸®ÇÏ¿© ´ÙÀ½Ç¥¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù.
Kb Filter ¹ýÀ¸·Î ÃøÁ¤½Ã´Â P/B ºñ¸¦ ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î ¼±ÅÃÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ´Ù.
ÃÖ´ë °üÀü·ù´Â X-Ray Tube ³ª X¼±¹ß»ýÀåÄ¡ÀÇ ÃÖ´ë¿ë·®À» °í·ÁÇÏ¿© °áÁ¤ÇÑ´Ù.

ÃÖ´ë°­µµ, P/B ºñ¸¦ ¾ò´Â °üÀü¾Ð
(½Ã·á:Si ºÐ¸», Kb Filter ¹ý)
Target ÃÖÀú ¿©±âÀü¾Ð
(KV)
ÃÖÀûÀü¾Ð (µ¿ÀϺÎÇÏ) (KV)
°­µµÃÖ´ë P/B ºñ ÃÖ´ë
Mo 20.0 60 45 ~ 55
Cu 8.86 40 ~ 55 25 ~ 35
Co 7.71 35 ~ 50 25 ~ 35
Fe 7.10 35 ~ 45 25 ~ 35
Cr 5.98 30 ~ 40 20 ~ 30

(2) Goniometer Á¶°Ç

a. X¼±ÀÇ Take-off angle (Glancing angle)

X¼±ÀÇ Take-off angle Àº º¸Åë 6o ¿¡ ¼³Á¤ÇÏ¿© »ç¿ëÇϸç, ¾ò¾îÁö´Â ÁýÁ¡ÀÇ ÆøÀº ½ÇÁýÁ¡ÀÇ 1/10 À̵ȴÙ.

b. Goniometer ¹Ý°æ

ÁýÁ¡¿¡¼­ ½Ã·áÁ߽ɱîÁöÀÇ °Å¸® a °¡ Goniometer ¹Ý°æ (r) À̸ç, ÁýÁß¹ý¿¡¼­´Â ½Ã·áÁ߽ɿ¡¼­ Receiving silt ±îÁöÀÇ °Å¸® b µµ °°´Ù.
¹Ý°æÀÌ Å©¸é X¼±°­µµ°¡ ¶³¾îÁöÁö¸¸ Peak ÀÇ ºÐÇØ´ÉÀÌ ¿Ã¶ó°£´Ù.
¹Ý°æÀÌ ÀÛÀ¸¸é ±× ¹Ý´ë·Î µÈ´Ù.
Goniometer ¹Ý°æÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î 185 mm ÀüÈÄÀÌ´Ù.

ºñ´ëĪ ÁýÁß¹ýÀÇ ±¤Çаè

ºñ´ëĪ ÁýÁß¹ýÀÇ ±¤Çаè

¼ö±¤ÃøÀÇ Goniometer ¹Ý°æ b ÀÇ ±æÀ̸¦ ±æ°Å³ª ª°Ô ÇÏ¿© X¼±°­µµ/ºÐÇØ´ÉÀÇ ÃÖÀûÁ¶°ÇÀ» ¾ò´Â ±¤Çа踦 ºñ´ëĪ ÁýÁß¹ý ±¤Çаè¶ó ÇÑ´Ù.
º¸ÅëÀÇ 2b/b Scanning ¿¡¼­´Â ½Ã·á¸éÀÌ ÁýÁß¹ý Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.
Computer Á¦¾î¿¡ ÀÇÇÏ¿© Ư¼öÇÑ 2b/a Scanning À» ½ÇÇöÇÏ¿© ½Ã·á¸éÀÌ Ç×»ó ÁýÁßÁ¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

c. Divergence slit (DS)

½Ã·á¿¡ Á¶»çµÇ´Â X¼±ÀÇ ¹ß»ê°¢À» °áÁ¤ÇÏ´Â Slit À̸ç, ÀÌ°Í¿¡ ÀÇÇÏ¿© Á¶»çÆøÀÌ º¯ÇÑ´Ù.
ÀÌ°ÍÀ» ´ÙÀ½ ±×¸²À¸·Î ³ªÅ¸³Â´Ù.

Divergence slit (DS) ÀÇ ¹ß»ê°¢ °ú Á¶»çÆø (2A)

Divergence slit (DS) ÀÇ ¹ß»ê°¢ (b) °ú Á¶»çÆø (2A)

´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ Á¶»çÆøÀÌ ½Ã·áÆø(º¸Åë 20 mm)À» ÃÊ°úÇÏÁö ¾Ê´Â ¹üÀ§¿¡¼­ DS ÆøÀ» ³Ð°ÔÇϸé X¼±°­µµ°¡ Áõ°¡ÇÑ´Ù.
µû¶ó¼­ ±×¸²ÀÇ DS = 4o Data ´Â Peak ÀÇ ÆøÀÌ ³Ð¾îÁ® ºÐÇØ´ÉÀÌ ±Ø´ÜÀûÀ¸·Î ¶³¾îÁø´Ù.

Divergence slit (DS) ¿Í Peak ÇüÅÂ

Divergence slit (DS) ¿Í Peak ÇüÅÂ
½Ã·á : a-Quartz(5Áß¼±), À§·ÎºÎÅÍ DS = 4o, 2o, 1o

ÀϹÝÀûÀ¸·Î´Â DS = 1o ¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
ÀÌ DS ·Î´Â 2q = 20o º¸´Ù Àú°¢µµÃø¿¡¼­´Â X¼±ÀÌ ½Ã·á¿¡¼­ ³ª¿À¸ç Á¶»çX¼±·®ÀÌ °¨¼ÒÇϱ⠶§¹®¿¡ Peak ÀÇ »ó´ëX¼±°­µµ°¡ ¶³¾îÁø´Ù.
20o (2q) ÀÌÇÏ¿¡ Peak °¡ ¸¹Àº ¹°ÁúÀÇ ÃøÁ¤¿¡´Â DS = 1/2o ¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.

d. Scattering slit (SS)

´ÙÀ½¿¡ ¼³¸íÇÒ Receiving slit (RS) ÀÇ ¼ö±¤°¢À» Á¦¾îÇÏ´Â Slit À̸ç, ½Ã·á ÀÌ¿Ü¿¡¼­ ³ª¿À´Â »ê¶õ¼±À» Cut ½ÃÅ°°í, Background ÀÇ »ó½ÂÀ» ¸·´Â È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù.
DS ¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â Slit À» »ç¿ëÇÑ´Ù.

e. Receiving slit (RS)

¼ö±¤ÆøÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â Slit ÀÌ´Ù.
ÀÌ ÆøÀÌ 2 ¹è°¡ µÇ¸é ÀûºÐ°­µµµµ 2 ¹è°¡ µÈ´Ù.
µû¶ó¼­ ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ PeakÀÇ ºÐÇشɵµ ¶³¾îÁö¹Ç·Î Peak °¡ ÁßøµÇ´Â°ÍÀÌ ¸¹Àº °æ¿ì´Â ³ÐÀº RS ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â°ÍÀÌ ÁÁ´Ù.
º¸Åë RS = 0.3 mm ¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.

Receiving slit Æø (RS:mm) °ú Peak ÇüÅÂ

Receiving slit Æø (RS:mm) °ú Peak ÇüÅÂ
½Ã·á : a-Quartz(5Áß¼±), À§·ÎºÎÅÍ RS = 0.6, 0.3, 0.15 mm

f. Slit changer ¿Í Variable slit

Computer ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ±¤ÇаèÀÇ ÀÚµ¿¼³Á¤ System À» ½ÇÇöÇϱâ À§ÇÏ¿© ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°Àº Slit changer °¡ °í¾ÈµÇ¾ú´Ù.

Slit changer

Slit changer

ÀÌ Slit À» »ç¿ëÇÏ¿© ÃøÁ¤°¢µµ¿¡ ´ëÇÑ DS ÀÇ ÀÚµ¿¼³Á¤µµ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ °íÁ¤ÆøÀÇ Slit ÀÌ ¾Æ´Ñ Computer Á¦¾î·Î Slit ÆøÀ» Á¶Á¤ °¡´ÉÇÑ Slit µµ ÀÖ´Ù.
½Ã·á¿¡¼­ X¼±ÀÌ ³ª¿Í Peak°­µµ´Â Áõ°¡ÇÏ¸é ½Ã·áÆǵ¼­ »ê¶õÀÌ Áõ°¡µÇ¾î P/B ºñ¸¦ ³·Ãß´Â °æ¿ìµµ ÀÖ´Ù.
µû¶ó¼­ q (2q) Ãà Scanning ¿¡ ¿¬µ¿ÇÏ¿© Á¶»çÆøÀÌ Ç×»ó ½Ã·áÆøÀÌ µÇµµ·Ï °¡º¯ Slit ¸¦ Á¦¾îÇϸé P/B ºñ°¡ ¶³¾îÁö´Â °ÍÀ» ¸·À» ¼ö ÀÖ´Ù.
¾à°£ ³·Àº °¢µµ (5o ÀÌÇÏ) ¿µ¿ªÀÇ Peak ÃøÁ¤¿¡ ÀÌ ÃøÁ¤¹ýÀÇ È¿°ú°¡ Å©´Ù.
ÀÌ ÃøÁ¤¹ýÀº °í°¢µµ ¿¡¼­µµ °­µµ°¡ Áõ°¡ µÇÁö¸¸ µ¿½Ã¿¡ ºÐÇØ´ÉÀÇ ÀúÇÏ¿Í Peak ÀÇ Shift °¡ »ý±â¹Ç·Î, »ç¿ëÇÒ¶§ ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
Profile ÀÇ Á¤¹ÐÃøÁ¤¿¡´Â »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

(3) Scanning Á¶°Ç

a. Scanning Ãà

ÁýÁß¹ý¿¡¼­´Â 2q/q ¿¬µ¿ Scan À¸·Î ½Ã·á¸éÀÌ Ç×»ó ÁýÁß¿ø¿¡ Á¢ÇÑ »óÅÂÀ̸ç X¼±°­µµ°¡ °­ÇÏ°í °íºÐÇØ´ÉÀÇ ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¹Ú¸·¿ë ÆòÇà Beam ±¤ÇÐ°è ¿¡¼­´Â q ¸¦ Àú°¢µµ¿¡ °íÁ¤ÇÏ°í 2q ´Üµ¶ Scan À» ÇàÇÑ´Ù.

b. Scanning mode

Continuous (¿¬¼Ó) scan °ú Step scan ÀÌ ÀÖ´Ù.
¿¬¼Ó Scan Àº ÀÏÁ¤¼Óµµ·Î ÃàÀ» ±¸µ¿Çϸ鼭 ÃøÁ¤ÇÏ´Â mode ·Î Á¤¼ººÐ¼®, Á¤·®ºÐ¼® µî¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù.
Step scan Àº ÀÏÁ¤°¢µµ¾¿ ÃàÀ» ¿òÁ÷¿©¼­ Á¤ÁöÇÑ »óÅ¿¡¼­ ÃøÁ¤ÇÏ´Â mode ÀÌ´Ù.
ÀÌ ¹æ¹ýÀº °è¼ö½Ã°£À» ±æ°ÔÇÏ¿© X¼±ÀÇ °è¼öº¯µ¿À» ÀÛ°ÔÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î Á¤È®ÇÑ Profile ÀÇ ÃøÁ¤µîÀÇ °æ¿ì¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù.
Á¤¹ÐÇÑ Peak profile ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °ÝÀÚÁ¤¼öÁ¤¹ÐÃøÁ¤, °áÁ¤ÀÇ Å©±â¿Í ºÒ±ÕÀÏ ¿Ö°î (Lattice distortion) µîÀÇ ÃøÁ¤¿¡ Àû´çÇÏ´Ù.

c. Sampling Æø / Step Æø

Step ÆøÀº Peak ÀÇ ¹Ý°¡ÆøÀÇ 1/5 ¿¡¼­ 1/10 ÀÌ Àû´çÇÏ´Ù.
Á¤¼ººÐ¼®¿¡¼­´Â 0.02o ÀÇ Step ÆøÀ» Ç¥ÁØÀ¸·Î »ç¿ëÇÑ´Ù.
Peak profile Á¤¹ÐÃøÁ¤¿¡¼­µµ 0.01 ~ 0.005o ÀÇ Step ÆøÀ¸·Î ÃæºÐÇÏ´Ù.

Sampling Æø°ú Peak ÇüÅÂ

Sampling Æø°ú Peak ÇüÅÂ
À§·ÎºÎÅÍ 0.002o À§·ÎºÎÅÍ 0.01o À§·ÎºÎÅÍ 0.05o
½Ã·á : Quartz (5Áß¼±), Scan speed : 0.5 o/min

ºÒÇÊ¿äÇÏ°Ô Step Æø (Sampling Æø) À» Á¼°ÔÇϸé ÇÑ ÁöÁ¡¿¡¼­ÀÇ °è¼ö½Ã°£ÀÌ Âª¾ÆÁ®¼­ Åë°èº¯µ¿ÀÌ »ý°Ü¼­ ³ª»Ú°Ô µÈ´Ù.
°Å²Ù·Î Step ÆøÀ» ³Ð°Ô ÇÏ¿©µµ ±¤Çа迡¼­ ¾ò¾îÁö´Â ºÐÇØ´ÉÀ» º¸ÀåÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.
¶Ç ÀÌ°ÍÀº Data 󸮽à Smoothing À» ¸¹ÀÌ ÇÑ°Í°ú °°¾Æ ºÐÇØ´ÉÀÌ ¶³¾îÁö¹Ç·Î ÁÖÀÇÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

d. ÁÖ»ç¼Óµµ (Scan speed) / °è¼ö½Ã°£ (Fixed time)

¿¬¼Ó Scan ¿¡¼­ÀÇ ÁÖ»ç¼Óµµ, Step Scan ¿¡¼­ÀÇ °è¼ö½Ã°£ÀÇ ¼³Á¤Àº Data ÀÇ Áú°ú ÃøÁ¤½Ã°£À» °áÁ¤ÇÏ´Â Áß¿äÇÑ Parameter ÀÌ´Ù.
ÀÌ°ÍÀº ³ªÁß¿¡ ¼³¸íÇÒ X¼±Åë°èº¯µ¿À» ¹«½ÃÇÏ°í ´Üµ¶ÀûÀ¸·Î °áÁ¤ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.
¿¹¸¦µé¸é Peak °¡ °ËÃâµÉ¼ö ÀÖÀ»Áö´Â Peak ÀÇ X¼±°­µµ°¡ ±ÙóÀÇ Background Åë°èº¯µ¿º¸´Ù ŬÁö ÀÛÀ»Áö·Î °áÁ¤µÈ´Ù.
Á¤¼ººÐ¼®ÀÇ ¿¹¸¦µé¸é ÁÖ¼ººÐÀÇ Peak ´Â 8 o/min À¸·Î Scan ÇÏ¿©µµ ÃæºÐÇÑ ¼öÀÇ Peak °¡ °ËÃâ µÇÁö¸¸, ¹Ì·®¼ººÐÀº 0.5 o
/min À¸·Î Scan ÇÏ¿©µµ Peak ¸¦ °ËÃâÇÒ ¼ö ¾ø´Â °æ¿ìµµ ÀÖ´Ù. ÀçÇö¼ºÀÌ ³ª»Û ½Ã·á´Â °è¼ö½Ã°£À» ¾ó¸¶¸¦ ÇÏ¿©µµ ¾ò¾îÁö´Â Á¤¹Ðµµ´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Ù.
ÀÌ °æ¿ì Ƚ¼ö¸¦ ´Ã·Á¼­ Æò±ÕÈ­ Çϸé ÃøÁ¤Á¤¹Ðµµ°¡ Çâ»óµÈ´Ù.

(4) X¼±ÀÇ Åë°èº¯µ¿ (X-ray statistical fluctuation)

X¼± °è¼ö°ªÀº º»ÁúÀûÀ¸·Î Åë°èÀûÀÎ °ªÀ» ¾ò´Â °ÍÀÌ´Ù.
±×·¯¹Ç·Î Åë°èÀû 󸮰¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
ÀÌ ¿ÀÂ÷ÀÇ Æò°¡´Â ÀϹÝÀûÀÎ Á¤±ÔºÐÆ÷·Î ÇÑ´Ù.

a. Background ¸¦ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì

ȸÀýX¼±°­µµ P (Count) ÀÇ °üÃø°ª¿¡ ´ëÇÏ¿© Ç¥ÁØÆíÂ÷´Â s = P ·Î Ç¥½ÃµÇ¸ç ¿©·¯¹ø ÃøÁ¤ÇÏ¿© 68.3% °¡ À̹üÀ§³»¿¡ µé¾î¿Â´Ù.
¶Ç´Â 3s ¿¡´Â 99.7% °¡ À̼ӿ¡ µé¾î¿Â´Ù.
Çѹø ÃøÁ¤ÇÑ °è¼ö°ª¿¡ ´ëÇÑ ¿ÀÂ÷´Â ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ µÈ´Ù.

Ç¥ÁØÆíÂ÷ s = P

»ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷ s(%) = s X 100 = 1 X 100
----- -------
P P


µû¶ó¼­ »ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷ 1% ¸¦ ¾ò±â À§Çؼ­´Â 10,000 Count ÀÇ °è¼ö°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

b. Background ¸¦ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Â °æ¿ì

ȸÀýX¼±°­µµ¸¦ P (Background Á¦°ÅÇÏ°í) Background °­µµ¸¦ B ·Î ÇÏ°í ȸÀýX¼±°­µµÀÇ ¿ÀÂ÷´Â ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ µÈ´Ù.

Ç¥ÁØÆíÂ÷
s                          
sP+B2 + sB2
( sP+B = P + B, sB = B )

»ó´ëÇ¥ÁØÆíÂ÷
s (%) =  s
----- 
P
X 100 =  1
------ 
P
               
P + 2B
--------
P

  X 100

Peak °­µµÀÇ ÀçÇö¼º°ú P/B ºñÀÇ °ü°è¸¦ ´ÙÀ½ ±×¸²À¸·Î Ç¥½ÃÇß´Ù.

°­µµÀçÇö¼º¿¡ ´ëÇÑ P/B ºñÀÇ ¿µÇâ

°­µµÀçÇö¼º¿¡ ´ëÇÑ P/B ºñÀÇ ¿µÇâ

ÀÌ ±×¸²À¸·Î ºÎÅÍ P/B ºñ°¡ °­µµÀçÇö¼º¿¡ Å« ¿µÇâÀ» Áִ°ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
Monochromator ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿©µµ Peak °­µµ´Â ¶³¾îÁöÁö¸¸ P/B °¡ °³¼±µÈ´Ù.
Monochromator ¹ýÀÌ Filter ¹ý º¸´Ù ÀçÇö¼ºÀÌ ÁÁÀº Data °¡ ¾ò¾îÁö´Â °ÍÀº ÀÌ ÀÌÀ¯ ¶§¹®ÀÌ´Ù.
Á¤·®ÃøÁ¤ µîÀº Peak °­µµ ´ë½Å¿¡ ÀûºÐ°­µµ(Peak ÀÇ ¸éÀû) ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù.
ÀûºÐ°­µµ¿¡´Â Background ÀÇ °­µµÀÇ ¿µÇâÀÌ Å©°ÔµÈ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î ÃøÁ¤ÇÑ Peak ÀÇ ¿·À» Background °­µµ·Î ÇÏ´Â °£À̹ýÀ¸·Î´Â ÃæºÐÇÑ Á¤¹ÐµµÀÇ ÀûºÐ°­µµ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
Peak ÀÇ ¿·¿¡ °íÁ¤ÇÏ¿© ÀÏÁ¤½Ã°£ ÃøÁ¤ÇÏ¿© Background ¸¦ °áÁ¤Çϸé Á¤¹Ðµµ°¡ ÁÁÀº Data °¡ ¾ò¾îÁø´Ù.

(5) ÃøÁ¤Á¶°ÇÀÇ ¿¹

´ÙÀ½ Ç¥¿¡ Á¤¼ººÐ¼® µî Wide Angle Goniometer ¿¡ ÀÇÇÑ Ç¥ÁØÀûÀÎ ÃøÁ¤Á¶°ÇÀ» Á¤¸®Çß´Ù.
¹Ú¸·ÃøÁ¤, ¿Ö°îÃøÁ¤, ±ØÁ¡ÃøÁ¤ µî Àü¿ë±¤Çаè, Attachment °¡ ÇÊ¿äÇÑ ÃøÁ¤µµ ÀÖ´Ù.

Wide Angle Goniometer ÀÇ ÃøÁ¤Á¶°Ç
¸ñÀûTargetMono
Filter
°üÀü¾Ð
(KV)
ÃøÁ¤ Mode
(Step Æø)
Scan¼Óµµ
°è¼ö½Ã°£
DS(SS)
RS
Scan ¹üÀ§
Á¤¼ººÐ¼®
(ÀϹÝ)
Cu Mono
Ni
50 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
2o ~ 4o 1o
0.3mm
3o ~ 90o
Á¤¼ººÐ¼®
(Fe°è)
Co Mono
Mn
40 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
2o ~ 4o 1o
0.3mm
5o ~ 100o
Fe 35 5o ~ 120o
Á¤¼ººÐ¼®
(À¯±â)
Cu Mono
Ni
50 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
2o ~ 4o 1/2o
0.15mm
2o ~ 60o
¹Ì·®¼ººÐÀÇ °ËÃâ Cu Mono 50 ¿¬¼Ó/Step
(0.02o)
1/2o
2 ~ 10 s
1o
0.3mm
ÁÖ Peak ¿µ¿ª
Á¤·®
(ÀϹÝ)
Cu Mono
Ni
50 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
1/4o ~ 1o 1o
0.3mm
Á¤·® Peak
(ȸÀü½Ã·á´ë)
Á¤·®
(g»ó)
Mo Mono
Zr
60 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
1/4o ~ 1o 1o
0.3mm
Á¤·® Peak (º¹¼ö)
(ȸÀüÁøµ¿½Ã·á´ë)
°ÝÀÚÁ¤¼ö Cu Mono
Ni
50 Step Scan
(0.01o)
1 ~ 8 s 1o
0.15 ~
0.3mm
Peak ¿µ¿ª
(4 ~ 8 Peak)
°áÁ¤Å©±â & ¿Ö°î
°áÁ¤È­µµ Cu Mono 50 ¿¬¼ÓÁÖ»ç
(0.02o)
1o ~ 2o 1/2o
0.3mm
3o ~ 140o
µ¿°æºÐÆ÷
(ºñÁ¤)
Mo Mono 60 Step Scan
(0.1o ~ 0.2o)
4 ~ 20 s 1/6o ~ 2o
(q Link)
0.6mm
3o ~ 150o
Mo
Cu
Mono
Mono
60
50
Rietveld ¹ý Cu Mono 50 Step Scan
(0.016o)
1 ~ 10 s 1/2o ~ 1o
0.15mm
10o ~ 130o